Sejak saat itu, Galuh berpindah tuan kepada perusahaan dagang Hindia Belanda tersebut. Kendati demikian, secara administratif Galuh masih termasuk wilayah Cirebon dibawah pengawasan langsung Pangeran Aria sebagai perwakilan VOC.
Sebelum perjanjian itu ditandatangani, perusahaan yang sempat merapkan tanam paksa tersebut mengangkat Sutadinata sebagai Bupati Galuh (1693-1706) untuk mengganti ayahnya yang meninggal, Angganaya.
Sepeninggalan Sutadinata, Galuh dipimpin oleh Kusumadinata I (1706-1727), Kusumadinata II (1727-1732), dan Kusumadinata III (1751-1801). Secara de jure, Kusumahdinata III alias Mas Garuda menjadi Bupati Galuh sejak kematian pamannya, Kusumadinata II pada tahun 1732. Namun, karena dianggap belum dewasa, kepemimpinan Galuh dijalankan oleh tiga orang wali, termasuk di antaranya Raden Jayabaya yang merupakan Patih Imbanagara, ayah dari Mas Garuda sendiri.
Kusumadinata III kemudian digantikan oleh Raden Adipati Natadikusumah (1801-1806). Pada masa kepemimpinannya, wilayah jajahan VOC kembali dirombak karena terjadi peralihan kekuasaan kepada Kerajaan Belanda karena perusahaan tersebut bangkrut.
Galuh di bawah Pemerintahan Hindia Belanda
Kerajaan Belanda kemudian membentuk pemerintahan Hindia Belanda sebegai pemerintah kolonial yang menguasai wilayah bekas jajahan VOC. Di masa itu, Kabupaten Imbanagara dan Kabupaten Utama dihapus dan dilebur menjadi Kabupaten Galuh. Pada tahun 1815, Bupati Galuh Wiradikusumah, memindahkan ibu kota dari Imbanagara ke (pusat kota) Ciamis hari ini.
Pada masa pemerintahan Adipati Adikusumah (1819-1839) yang merupakan anak Wiradikusumah, wilayah Galuh semakin luas dengan dimasukkan Kawali dan Panjalu ke dalam wilayah Galuh. Adikusumah memiliki anak bernama Kusumadinata. Anak laki-lakinya ini kemudian menggantikan ayahnya sebagai Bupati Galuh yang sangat masyhur dengan nama Raden Adipati Arya Kusumadiningrat alias Kanjeng Prebu (1839-1886).
Kanjeng Prebu banyak melakukan pembangunan yang jejaknya masih dapat dilihat hingga kini, di antaranya Gedung Kabupaten (kini menjadi Gedung DPRD Ciamis), Masjid Agung, Kantor Asisten Residen (Kantor Bupati sekarang), penjara, kantor telepon, dan lain-lain.